壓電二維納米位移臺(tái) XYMF-133-lODA，為長(zhǎng)行程納米平移臺(tái)，具有分辨率高，行程大，帶有高精度及高分辨率的位置反饋，操作簡(jiǎn)單，定位糟準(zhǔn)，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，其中XYMF-133-100A平移臺(tái)可實(shí)現(xiàn)在XY二維空間上的準(zhǔn)確定位，可應(yīng)用于需要納米精度運(yùn)動(dòng)操作及定位的各個(gè)領(lǐng)域。 壓電二維納米位移臺(tái)使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)無需...

壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)RF系列，通過壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，具有定位準(zhǔn)確，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn)。在增強(qiáng)位置反饋模塊后，可實(shí)現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。 壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)RF系列應(yīng)用： 1、電子顯微鏡原位納米探針臺(tái)。 2、半導(dǎo)體芯片檢測(cè)。 3、光刻機(jī)工件臺(tái)。 4、微生...

壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)，使用壓電陶瓷作為運(yùn)動(dòng)促動(dòng)元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別的Z小步長(zhǎng)，從而解決了傳統(tǒng)納米臺(tái)行程小而微米電動(dòng)臺(tái)分辯精度不高的問題。在科研市場(chǎng)、半導(dǎo)體市場(chǎng)、先進(jìn)制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學(xué)、通信等行業(yè)有廣泛應(yīng)用。 壓電納米位移臺(tái)優(yōu)勢(shì)： 1、結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性。 2、高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向...