壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺RF系列，通過壓電陶瓷驅(qū)動，具有定位準(zhǔn)確，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點。在增強位置反饋模塊后，可實現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。
壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺RF系列應(yīng)用：
1、電子顯微鏡原位納米探針臺。
2、半導(dǎo)體芯片檢測。
3、光刻機工件臺。
4、微生物操縱手。
5、光纖焊接。
6、組裝。
7、檢測與測量。
8、高精度激光對焦。

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