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壓電納米位移臺

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壓電納米位移臺

壓電陶瓷電機是最近20年發(fā)展起來的新技術(shù)。使用壓電陶瓷電機的定位產(chǎn)品,結(jié)構(gòu)簡單,尺寸緊湊,可以在數(shù)十毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)納米級別的最小步長,從而解決了傳統(tǒng)納米臺行程不足,而微米電動臺分辨精度不高的問題。 卓聚科技率先在國內(nèi)研發(fā)出能產(chǎn)品化的壓電陶瓷電機線性位移平臺和旋轉(zhuǎn)臺等超精密位移產(chǎn)品,性能指標達到國際先進水平,填補了此領(lǐng)域的國產(chǎn)產(chǎn)品空白??蓮V泛應用于半導體芯片、光通訊、生物醫(yī)療、電子顯微、先進制造、科學研究等領(lǐng)域。
SEM納米探針臺

SEM納米探針臺

SEM納米探針臺實現(xiàn)了三維空間上的精確定位,它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優(yōu)點,可應用于在SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運動操作。
壓電多軸納米位移臺

壓電多軸納米位移臺

壓電多軸納米位移臺,多個納米位移平臺組合而成的多軸運動和定位產(chǎn)品,包括2軸,3軸、4軸、5軸等,形式多樣,可根據(jù)需求定制。
壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺

壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺

壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺,可以360度旋轉(zhuǎn)平面,由高分辨率壓電馬達驅(qū)動。提供開環(huán)和閉環(huán)版本。
壓電直線納米位移臺

壓電直線納米位移臺

直線運動納米壓電馬達位移平臺提供行程從±7.5mm到±92mm的不同規(guī)格的標準化產(chǎn)品,移動分辨率最小可達0.05nm。提供開環(huán)和閉環(huán)控制版本、大氣和真空兼容版本。