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納米位移臺的非線性誤差如何補償?

納米位移臺的非線性誤差如何補償?

納米位移臺 (Nanopositioning Stages) 的非線性誤差 (Non-linearity Error) 主要來源于驅動器(如壓電材料)的電壓-位移關系的非線性、機械結構的彈性變形以及傳感器的測量誤差等。這種非線性誤差會影響位置精度,特別是在高精度應用中須進行補償。下面詳細介紹幾種常用的非線性誤差補償方法。 1. 閉環(huán)控制系統(tǒng) (Closed-...
納米位移臺的反向路徑誤差如何校準?

納米位移臺的反向路徑誤差如何校準?

納米位移臺的反向路徑誤差(Backlash Error,或稱回程誤差)是指在運動方向切換時,由于機械間隙、彈性變形或摩擦等因素,導致實際位置與目標位置之間的偏差。這種誤差對高精度定位要求的場景影響顯著,特別是往返運動中。 下面詳細介紹幾種反向路徑誤差校準方法,包括硬件和軟件層面的策略。 硬件層面的校準方法 采用預...
納米位移臺的摩擦補償方法有哪些?

納米位移臺的摩擦補償方法有哪些?

納米位移臺的摩擦效應會導致運動滯后、爬行(stick-slip)、精度下降等問題,特別是在低速或小步進操作時更加明顯。常見的摩擦補償方法可以分為硬件層面和軟件層面的技術手段,下面詳細介紹幾種常用的摩擦補償方法: 硬件層面的摩擦補償方法 采用無摩擦驅動方式(如壓電驅動和磁懸浮驅動)特點:壓電驅動(Piezo Actuato...
如何消除納米位移臺的側向誤差

如何消除納米位移臺的側向誤差

納米位移臺的側向誤差 是指 在位移過程中,除了預定的縱向移動外,還伴隨有水平或垂直方向的誤差,這可能影響納米位移臺的定位精度。側向誤差常見于 壓電驅動、電磁驅動和螺桿驅動 的納米位移臺,尤其是在操作時。以下是一些消除側向誤差的方法: 側向誤差的原因: 機械設計缺陷:支撐結構不對稱或剛性不足,導致在單軸...
如何根據(jù)載荷特性選擇納米位移臺的驅動方式?

如何根據(jù)載荷特性選擇納米位移臺的驅動方式?

選擇納米位移臺驅動方式 時,載荷特性(如 重量、慣性、剛性、精度要求、速度要求 等)起著關鍵作用。常見的驅動方式有 壓電驅動、電磁驅動、音圈驅動、螺桿驅動 等。以下是根據(jù)不同載荷特性選擇驅動方式的詳細指南: 1. 根據(jù)載荷重量選擇驅動方式 (1) 輕載 (< 100 g) 驅動: 壓電驅動 (Piezoelectric Drive) 原因:具有...
如何避免納米位移臺的機械共振現(xiàn)象?

如何避免納米位移臺的機械共振現(xiàn)象?

避免納米位移臺的機械共振現(xiàn)象,對于提高其精度和穩(wěn)定性至關重要。共振會導致位置誤差、振蕩和控制失穩(wěn),尤其在高頻操作時更加明顯。以下是一些有效的策略與方法,幫助減少或避免機械共振問題: 1. 調節(jié)驅動頻率(避開共振頻率) 原理: 每個納米位移臺都有固有的共振頻率(自然頻率)。 驅動頻率接近共振頻率時,容易引...
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