納米位移臺的“慣性行走方式”是一種基于慣性原理的微納驅(qū)動方式，常用于壓電納米位移系統(tǒng)中。它也叫做慣性驅(qū)動（Inertial Drive），其核心思想是利用壓電材料在不同速率下產(chǎn)生的“粘-滑”效應(yīng)，實現(xiàn)精密運動。
原理簡述：
慣性行走依賴于 快速與慢速驅(qū)動的不對稱響應(yīng)：
慢速驅(qū)動階段：壓電陶瓷緩慢伸長或收縮，樣品臺或滑塊因為摩擦力較大，跟隨移動。
快速驅(qū)動階段：壓電陶瓷迅速回彈，由于加速度大，滑塊因慣性與壓電體脫離滑動或部分脫離，保持原位或略有滑動。
結(jié)果：整個周期下來，滑塊產(chǎn)生一個凈的微小位移。
連續(xù)重復(fù)這個周期，即可形成步進(jìn)式運動。
特點：
無需螺桿或齒輪，適合微納尺度；
可以實現(xiàn)亞微米甚至納米級的定位精度；
常見于閉環(huán)或開環(huán)壓電納米驅(qū)動器；
驅(qū)動方式有時也叫做“stick-slip”運動。
優(yōu)點：
結(jié)構(gòu)緊湊，適合小空間環(huán)境；
能實現(xiàn)大行程與高分辨率結(jié)合；
驅(qū)動過程無電機(jī)噪音；
耗能低，控制靈活。