在使用納米位移臺（nanopositioning stage）過程中，避免共振問題是確保高精度和穩(wěn)定性操作的關(guān)鍵。共振會導(dǎo)致系統(tǒng)振動(dòng)放大、定位誤差增大，甚至損傷精密部件。以下是避免或抑制共振的常見策略：
一、結(jié)構(gòu)與安裝設(shè)計(jì)方面
選擇高剛性平臺或基座
使用具有良好阻尼和高固有頻率的安裝平臺（如花崗巖、厚金屬塊）能提高系統(tǒng)整體剛度，減少共振響應(yīng)。
避免軟連接與懸空結(jié)構(gòu)
將位移臺牢固固定于穩(wěn)定支撐面，避免軟性連接（如長懸臂、懸掛電纜）帶來的低頻共振。
優(yōu)化負(fù)載分布
使樣品和附屬裝置重量均勻分布，避免偏載或重心不穩(wěn)引起低頻共振。
二、控制系統(tǒng)優(yōu)化
調(diào)節(jié)伺服控制參數(shù)
控制器中增益（P/I/D）設(shè)置過高可能激發(fā)共振，應(yīng)根據(jù)實(shí)際負(fù)載、位移臺參數(shù)優(yōu)化控制回路。
啟用主動(dòng)或自適應(yīng)振動(dòng)抑制算法
一些控制器支持“前饋控制”、“陷波濾波器”或“低通濾波器”，可以有效抑制某一頻段的共振。
三、驅(qū)動(dòng)與操作策略
避免激勵(lì)共振頻率的運(yùn)動(dòng)模式
避免快速反向、急停、方波等激勵(lì)信號，優(yōu)先使用**平滑加減速軌跡（如 S 曲線）**控制運(yùn)動(dòng)過程。
設(shè)定合理的掃描速度和加速度
若加速度設(shè)置過大，會激發(fā)結(jié)構(gòu)的自然頻率，建議控制在系統(tǒng)諧振頻率以下運(yùn)行。
四、環(huán)境控制
隔離外部振動(dòng)源
安裝減振臺（如氣浮減振平臺）、避開鄰近運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備（如壓縮機(jī)、風(fēng)扇、冷卻泵等）避免耦合外部振源。
溫度和氣流管理
溫度變化或空氣流動(dòng)也可能誘發(fā)微振動(dòng)，尤其對高分辨率系統(tǒng)影響較大，建議保持恒溫與無風(fēng)操作環(huán)境。
五、共振頻率的識別與測試建議
可使用激勵(lì)響應(yīng)分析或頻率掃描儀，對系統(tǒng)進(jìn)行共振頻率測試；
確認(rèn)后可在控制器中設(shè)置陷波器（Notch Filter）屏蔽該頻段。