納米位移臺(tái)常見的非線性誤差主要包括以下幾種類型：
1. 滯回誤差（Hysteresis）
表現(xiàn)：當(dāng)輸入信號(hào)增加和減少時(shí)，輸出位移路徑不一致，存在遲滯現(xiàn)象。
原因：多由壓電材料的內(nèi)在性質(zhì)引起，是典型的路徑依賴型非線性。
2. 蠕變誤差（Creep）
表現(xiàn)：在恒定驅(qū)動(dòng)電壓下，位移隨時(shí)間緩慢變化，呈非線性漂移。
原因：壓電材料或機(jī)械結(jié)構(gòu)在加載后發(fā)生緩慢形變。
3. 非線性驅(qū)動(dòng)響應(yīng)
表現(xiàn)：位移與驅(qū)動(dòng)電壓不呈線性關(guān)系（尤其在壓電元件或磁致伸縮元件中常見）。
原因：致動(dòng)器材料本身的非線性、電源輸出不穩(wěn)定等。
4. 熱漂移引起的非線性
表現(xiàn)：系統(tǒng)溫度變化導(dǎo)致位移響應(yīng)偏移，非線性程度隨時(shí)間變化。
原因：熱膨脹、電子元件溫度依賴性、電纜受熱拉伸等。
5. 機(jī)械耦合誤差
表現(xiàn)：一個(gè)方向運(yùn)動(dòng)導(dǎo)致其他方向也發(fā)生微小位移。
原因：結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中各軸耦合、裝配不對(duì)稱、支撐剛性不足。
6. 死區(qū)和飽和
表現(xiàn)：在某些輸入電壓范圍內(nèi)無響應(yīng)（死區(qū)），或超出范圍后響應(yīng)失效（飽和）。
原因：驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)或傳感器的限制、控制器輸出受限等。
這些非線性誤差會(huì)影響定位精度、重復(fù)性和軌跡跟蹤能力，通?？赏ㄟ^以下方式減小：
應(yīng)用閉環(huán)控制（如配合電容傳感器）；
采用前饋+反饋補(bǔ)償算法；
優(yōu)化系統(tǒng)材料與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；
加熱控溫、恒溫工作環(huán)境。