納米位移臺是一種用于實(shí)現(xiàn)納米級別位移控制和測量的設(shè)備，其掃描方式包括單軸掃描和多軸掃描兩種。
單軸掃描方式是指在一個固定的方向上進(jìn)行掃描，例如只在X軸方向上進(jìn)行掃描，通過改變X軸方向的信號控制位移臺上的探針位置來實(shí)現(xiàn)納米級別的位移控制和測量。
多軸掃描方式則是指在多個方向上進(jìn)行掃描，例如在X、Y、Z三個方向上同時進(jìn)行掃描，通過改變X、Y、Z三個方向上的信號控制位移臺上的探針位置來實(shí)現(xiàn)更加復(fù)雜的位移控制和測量，可以用于實(shí)現(xiàn)納米級別的三維成像等應(yīng)用。
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