線性納米位移臺是一種用于實(shí)驗(yàn)室研究和制造工藝的儀器，它可以通過微小的步進(jìn)運(yùn)動(dòng)來移動(dòng)樣品或探針。該設(shè)備通常由一個(gè)線性電機(jī)、一個(gè)導(dǎo)軌和一個(gè)移動(dòng)平臺組成，可以實(shí)現(xiàn)納米級的移動(dòng)精度。
線性納米位移臺在許多領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用，例如納米技術(shù)、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造和光學(xué)研究等。它們可以用于納米尺度的操作，例如掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡和近場光學(xué)顯微鏡等。此外，線性納米位移臺還可用于制造微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、微型生物芯片和光學(xué)元件等。
線性納米位移臺的精度通常由其電機(jī)控制器和傳感器系統(tǒng)決定。由于其精度要求高，因此這些設(shè)備通常需要在凈室環(huán)境下操作，以避免灰塵和其他粒子的干擾。
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