傳統(tǒng)納米位移臺行程小而微米電動臺分辯精度不高，性能無法達到要求。而壓電驅(qū)動納米位移臺，使用壓電陶瓷作為運動促動元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)亞納米級別的步長，正好解決了這一問題。目前壓電驅(qū)動納米位移臺在科研市場、半導體市場、先進制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學、通信等行業(yè)有廣泛應用。
壓電驅(qū)動納米位移臺特點
具有運動無需潤滑，真空兼容，可在從液氦溫區(qū)（-269攝氏度）至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點。具有步進和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。
壓電驅(qū)動納米位移臺優(yōu)勢
1、結構緊湊，高剛性。
2、室溫到液氦工作溫度，超高真空兼容。
3、壓電陶瓷促進器具有超長使用壽命。
4、帶位移傳感器，提供位置和速度閉環(huán)控制。

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