壓電納米位移臺(tái)是通過壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)控制的電動(dòng)位移臺(tái)，不同于傳統(tǒng)的步進(jìn)馬達(dá)，直線電機(jī)，電磁馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)形式，壓電馬達(dá)是利用逆壓電效應(yīng)的原理，通過壓電陶瓷在電場(chǎng)作用下（一般在共振狀態(tài)下）產(chǎn)生的形變，由摩擦耦合推動(dòng)滑臺(tái)動(dòng)子的運(yùn)動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)平臺(tái)的位置移動(dòng)。壓電納米位移臺(tái)斷電時(shí)保持自鎖，從而不消耗能量，不發(fā)熱，可以很好的保持位置的機(jī)械穩(wěn)定性。

壓電直線納米位移臺(tái)MF30-20A

由壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的納米位移臺(tái)一般把馬達(dá)安裝在位移臺(tái)的基座上，而動(dòng)子則是安裝位移臺(tái)滑動(dòng)臺(tái)面部分，壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)沒有傳統(tǒng)電磁馬達(dá)(伺服或步進(jìn)電機(jī))驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)所需的絲桿或蝸輪蝸桿組部件，是一個(gè)直接驅(qū)動(dòng)，穩(wěn)定性更高，慣性更小，沒有回程間隙和機(jī)械部件之間的空回，響應(yīng)時(shí)間沒有所延遲。壓電陶瓷的形變量小，可以達(dá)到非常高的平臺(tái)位移精度，可以說壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)是名副其實(shí)的納米位移臺(tái)。

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