低溫液氮探針臺(tái) 低溫液氦探針臺(tái)特征 1.真空腔體:真空度優(yōu)于6×10-3Pa。降溫后優(yōu)于6×10-4Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口(可接入氣體或者額外的電纜); 2. 探針控制:標(biāo)配4個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm,調(diào)節(jié)...