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- - 化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
    - 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD） – 可實(shí)現(xiàn)低溫、無需催化劑、在多種襯底上（如金屬、氧化物、半導(dǎo)體表面）直接生長(zhǎng)均勻的石墨烯納米晶薄膜、氮化硼等二維材料。
    - 等離子體修飾系統(tǒng) – 基于氫等離子體的干法刻蝕技術(shù)可對(duì)石墨烯的面內(nèi)各向異性刻蝕，形成特定的、原子級(jí)平整的邊界。
  - 壓電納米位移臺(tái)
  - 線性壓電位移臺(tái)
    - 線性壓電位移臺(tái)-超低溫系列 LT34-06B
    - 線性壓電位移臺(tái)-MF系列 MF40-25A
  - 掃描探針顯微鏡
    
    掃描探針顯微鏡
    
    掃描探針顯微鏡（Scanning Probe Microscope，SPM）是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的各種新型探針顯微鏡（原子力顯微鏡，靜電力顯微鏡，磁力顯微鏡，掃描離子電導(dǎo)顯微鏡，掃描電化學(xué)顯微鏡等）的統(tǒng)稱，是國際上近年發(fā)展起來的表面分析儀器，是綜合運(yùn)用光電子技術(shù)、激光技術(shù)、微弱信號(hào)檢測(cè)技術(shù)、精密機(jī)械設(shè)計(jì)和加工、自動(dòng)控制技術(shù)、數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)、應(yīng)用光學(xué)技術(shù)、計(jì)算機(jī)高速采集和控制及高分辨圖形處理技術(shù)等現(xiàn)代科技成果的光、機(jī)、電一體化的高科技產(chǎn)品。
    - 低溫超高真空掃描隧道顯微鏡（Ultrascan LT-100） – 卓聚創(chuàng)新研發(fā)的超高空低溫（4K）STM系統(tǒng)包含關(guān)鍵技術(shù)如壓電陶瓷步進(jìn)馬達(dá)、低溫STM探頭、超真空液氦雙層杜瓦等，系統(tǒng)主要指標(biāo)達(dá)到或超過了國際商業(yè)化系統(tǒng)的最好水平。
    - 掃描探針顯微鏡控制器 – 超高性價(jià)比的掃描探針控制器，主流的性能指標(biāo)。包括掃描單元、進(jìn)針單元、信號(hào)采集單元。支持STM模式和非接觸式AFM模式。
  - 超高真空組件和配件
    
    超高真空組件和配件
    
    空間用高壓絕緣組件(簡(jiǎn)稱高壓組件)是行波管放大器功率傳輸?shù)年P(guān)鍵部件。在我國空間行波管放大器國產(chǎn)化研制過程中,經(jīng)統(tǒng)計(jì)故障有80%是在熱真空試驗(yàn)中發(fā)生的,而熱真空試驗(yàn)中的故障70%以上又是由高壓組件灌封氣泡缺陷造成的,高壓組件真空灌封技術(shù)已成為制約我國空間行波管放大器應(yīng)用的瓶頸之一。為此,本文對(duì)高壓組件灌封缺陷形成機(jī)理、灌封工藝及裝備技術(shù)進(jìn)行了系統(tǒng)的研究,解決了高壓組件灌封不實(shí)、灌封體內(nèi)部存有死空間或裂縫等灌封缺陷問題,形成了自主的高壓組件真空灌封技術(shù)。
  - 探針臺(tái)和低溫系統(tǒng)
    
    探針臺(tái)和低溫系統(tǒng)
    
    探針臺(tái)和低溫系統(tǒng)專注于為半導(dǎo)體領(lǐng)域、微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供先進(jìn)的半導(dǎo)體及微納米科學(xué)儀器，為祖國微納米科學(xué)事業(yè)的騰飛貢獻(xiàn)一份綿薄之力！
    - 干式液氦低溫探針臺(tái) – 使用GM制冷機(jī)，操作方便，最低溫度8K。震動(dòng)優(yōu)于1um。4到6個(gè)探針臂，可選直流或者射頻探針。
  - 臺(tái)階儀
    - 國產(chǎn)臺(tái)階儀JS100A – JS100A是卓聚科技自主開發(fā)的全國產(chǎn)化臺(tái)階儀。具有高精度，高分解能，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測(cè)量。
  - 二維材料轉(zhuǎn)移臺(tái)
    - 二維材料轉(zhuǎn)移臺(tái)-2D material transfer table – 2DTrans-ams-03，全電動(dòng)二維材料轉(zhuǎn)移臺(tái)，是專為解決手動(dòng)轉(zhuǎn)移過程中由手的抖動(dòng)帶來的這一不良結(jié)果，并充分還原手動(dòng)轉(zhuǎn)移過程中的手感與操作方式，給予更好的精確度和掌控性。同時(shí)也是一款專為手套箱環(huán)境設(shè)計(jì)的二維材料轉(zhuǎn)移臺(tái)，用于解決水氧敏感材料的轉(zhuǎn)移痛點(diǎn)。并且還是一款專為轉(zhuǎn)移“魔角”樣品而設(shè)計(jì)的二維材料轉(zhuǎn)移臺(tái)。
  - 光柵尺
    - 超高真空微型光柵尺-SMG26系列
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應(yīng)用案例
- 新材料領(lǐng)域
  
  新材料領(lǐng)域
  
  微米和亞微米光刻 (最小可達(dá)到0.6um線寬)，紫外光直寫曝光,無需掩模，大幅節(jié)約了掩模加工費(fèi)用，靈活性高，可直接通過電腦設(shè)計(jì)光刻圖形，并可根據(jù)設(shè)計(jì)要求隨意調(diào)整。可升級(jí)開放性系統(tǒng)設(shè)計(jì)。按照客戶要求可從低端到高端自由配置使用維護(hù)簡(jiǎn)單, 設(shè)備耗材價(jià)格低。應(yīng)用范圍廣，目前廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物芯片、微機(jī)電系統(tǒng)、傳感器、微化學(xué)、光學(xué)等領(lǐng)域。
- 物理科學(xué)領(lǐng)域
  
  物理科學(xué)領(lǐng)域
  
  物理科學(xué)領(lǐng)域是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的各種新型探針顯微鏡（原子力顯微鏡，靜電力顯微鏡，磁力顯微鏡，掃描離子電導(dǎo)顯微鏡，掃描電化學(xué)顯微鏡等）的統(tǒng)稱，是國際上近年發(fā)展起來的表面分析儀器，是綜合運(yùn)用光電子技術(shù)、激光技術(shù)、微弱信號(hào)檢測(cè)技術(shù)、精密機(jī)械設(shè)計(jì)和加工、自動(dòng)控制技術(shù)、數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)、應(yīng)用光學(xué)技術(shù)、計(jì)算機(jī)高速采集和控制及高分辨圖形處理技術(shù)等現(xiàn)代科技成果的光、機(jī)、電一體化的高科技產(chǎn)品。
- 生命科學(xué)領(lǐng)域
  
  生命科學(xué)領(lǐng)域
  
  空間用高壓絕緣組件(簡(jiǎn)稱高壓組件)是行波管放大器功率傳輸?shù)年P(guān)鍵部件。在我國空間行波管放大器國產(chǎn)化研制過程中,經(jīng)統(tǒng)計(jì)故障有80%是在熱真空試驗(yàn)中發(fā)生的,而熱真空試驗(yàn)中的故障70%以上又是由高壓組件灌封氣泡缺陷造成的,高壓組件真空灌封技術(shù)已成為制約我國空間行波管放大器應(yīng)用的瓶頸之一。為此,本文對(duì)高壓組件灌封缺陷形成機(jī)理、灌封工藝及裝備技術(shù)進(jìn)行了系統(tǒng)的研究,解決了高壓組件灌封不實(shí)、灌封體內(nèi)部存有死空間或裂縫等灌封缺陷問題,形成了自主的高壓組件真空灌封技術(shù)。
- 半導(dǎo)體和光電子工業(yè)
  
  半導(dǎo)體和光電子工業(yè)
  
  本實(shí)用新型涉及用于掃描探針顯微鏡的納米掃描臺(tái)，其包括安裝于矩形底板上的掃描臺(tái)支架，納米掃描臺(tái)內(nèi)設(shè)有柔性鉸鏈；柔性鉸鏈為四棱短管狀，其每一側(cè)壁均為由內(nèi)側(cè)壁和外側(cè)壁組成的夾層薄壁，每一側(cè)外側(cè)壁均通過細(xì)桿連接著內(nèi)套筒外端，內(nèi)套筒內(nèi)側(cè)連接著壓電陶瓷管，壓電陶瓷管的另一端連接著外套筒內(nèi)側(cè)，外套筒的外端連接著掃描臺(tái)支架，且四根壓電陶瓷管均布在掃描臺(tái)的兩個(gè)對(duì)角線方向的四個(gè)角處；柔性鉸鏈的軸向頂面連接著樣品臺(tái)。
- 自動(dòng)化生產(chǎn)
  
  自動(dòng)化生產(chǎn)
  
  微米和亞微米光刻 (最小可達(dá)到0.6um線寬)，紫外光直寫曝光,無需掩模，大幅節(jié)約了掩模加工費(fèi)用，靈活性高，可直接通過電腦設(shè)計(jì)光刻圖形，并可根據(jù)設(shè)計(jì)要求隨意調(diào)整?？缮?jí)開放性系統(tǒng)設(shè)計(jì)。按照客戶要求可從低端到高端自由配置使用維護(hù)簡(jiǎn)單, 設(shè)備耗材價(jià)格低。應(yīng)用范圍廣，目前廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物芯片、微機(jī)電系統(tǒng)、傳感器、微化學(xué)、光學(xué)等領(lǐng)域。
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