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壓電納米位移臺(tái)

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卓聚科技研發(fā)團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的壓電驅(qū)動(dòng)馬達(dá),具有運(yùn)動(dòng)無(wú)需潤(rùn)滑,真空兼容,可在從液氦溫區(qū)(-269攝氏度)至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點(diǎn)。其運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí),具有步進(jìn)和掃描雙工作模式,在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。其主要應(yīng)用領(lǐng)域有:基礎(chǔ)科研市場(chǎng),半導(dǎo)體市場(chǎng),先進(jìn)制造業(yè),生物醫(yī)藥行業(yè),光學(xué)、通信等行業(yè)。

根據(jù)納米位移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)軌跡,我司的位移臺(tái)分成三大類型,直線納米位移臺(tái),旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái),多軸納米位移臺(tái)

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直線納米位移臺(tái) 旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)

多軸納米位移臺(tái)

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