壓電三軸納米探針臺實現(xiàn)了三維空間上的準確定位，它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優(yōu)點，可應(yīng)用于在SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運動操作。

壓電三軸納米探針臺使用壓電陶瓷驅(qū)動，運動無需潤滑，真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。

三軸納米探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一個SEM腔體內(nèi)可安裝多個三軸探針臺。平臺上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現(xiàn)微納操縱和測量的目的。

壓電三軸納米探針臺應(yīng)用案例：

通過壓電納米位移臺的納米精度定位，兩個探針通過與樣品接觸，完成在SEM里實現(xiàn)對二維材料的電學測量。

同樣的,通過壓電納米位移臺也可以在更多領(lǐng)域完成高精度實驗,例如可應(yīng)用于納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等。

同時產(chǎn)品可以適配市面上大多數(shù)的SEM，例如：日本電子，日立，F(xiàn)EI,TESCAN等。

壓電三軸納米探針臺技術(shù)參數(shù)

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