
線性壓電位移臺(tái)-長(zhǎng)行程系列 XYMF-133-100A
XYMF-133-100A平移臺(tái)實(shí)現(xiàn)了在XY二維空間上的準(zhǔn)確定位,具有分辨率高,行程大(XY軸行程±50mm),帶有高精度及高分辨率的位置反饋。操作簡(jiǎn)單,定位準(zhǔn)確,能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),可應(yīng)用于需要納米精度運(yùn)動(dòng)操作及定位的各個(gè)領(lǐng)域。
壓電二維納米位移臺(tái)使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),運(yùn)動(dòng)無(wú)需潤(rùn)滑,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到亞納米級(jí)。步進(jìn)和掃描雙模式工作,并且在宏觀行程范圍內(nèi)同樣達(dá)到亞納米分辨率的定位。支持開(kāi)環(huán)閉環(huán)控制。
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