旨在預算與高測量可靠性之間尋求平衡點，該平臺配備高精度位移臺，可實現X、Y、Z、R等方向自動調整，各移動軸可實現±0.005mm以下的精度定位，對陣列型測量特征可實現快速準確的測量。經濟實用，穩(wěn)定性強，可升級擴展，操作方便是本產品的核心價值，在各大高校、研究所及半導體行業(yè)應用廣泛。

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