1.真空腔體：真空度優(yōu)于6×10^-3Pa。降溫后優(yōu)于6×10^-4Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）；

2. 探針控制：標(biāo)配4個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個(gè)探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

3. 顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學(xué)放大倍率：0.58X~7X（使用1X附加物鏡時(shí)），視頻放大倍率約280倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦；

4. 變溫樣品臺(tái)：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K?？販胤€(wěn)定性優(yōu)于±0.5K；

5. 可選配接入光纖，可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖；

6. 系統(tǒng)直流漏電低于1pA。

7. 產(chǎn)品含進(jìn)口分子泵機(jī)組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀。

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