亚洲爆乳精品无码一区二区,无码日韩精品一区二区三区免费 http://www.luoguofu.cn Tue, 24 Dec 2024 05:50:22 +0000 zh-CN hourly 1 https://wordpress.org/?v=5.2.2 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD) http://www.luoguofu.cn/products/detail/735.html Fri, 28 Aug 2020 07:52:53 +0000 http://www.luoguofu.cn/products/detail/735.html 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),三溫區(qū)CVD系統(tǒng),生長(zhǎng)樣品腔的管徑60-120mm,它是由高溫管式爐、多路高精度流量控制與供氣系統(tǒng)、機(jī)械泵、真空密封及測(cè)量系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)組成,極限真空度可達(dá) 10^-5 torr 。

主要特點(diǎn):

1,優(yōu)勢(shì)在于薄膜材料、低維納米材料等的制備(尤其適用于過(guò)渡金屬二維半導(dǎo)體材料的生長(zhǎng)與原位摻雜,以及多元二維材料的生長(zhǎng))

2,可選配遠(yuǎn)程等離子射頻發(fā)生系統(tǒng),可用于薄膜材料、低維納米材料等的等離子體輔助生長(zhǎng)、刻蝕加工與材料表面修飾(尤其適用于石墨烯、氮化硼等二維材料的無(wú)催化生長(zhǎng),缺陷調(diào)控,以及器件制作工藝中的殘膠去除)

3,生長(zhǎng)工藝設(shè)計(jì)先進(jìn),能滿(mǎn)足襯底無(wú)催化生長(zhǎng)

4,應(yīng)用案例(點(diǎn)擊跳轉(zhuǎn))

 

設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)

溫控參數(shù) 單位
溫度 1200
功率 6.5 kw
溫控精度 ±1
真空系統(tǒng)
真空泵 1 x 10-3 (7.5 x 10-4) mbar (Torr)
真空泵(開(kāi)氣鎮(zhèn)) 1.5 x 10-2 (1.1 x 10-2) mbar (Torr)
真空泵(使用PEPE 油) 1 x 10-2(7.5 x 10-3) mbar (Torr)
腔體內(nèi)真空度 優(yōu)于2.0*10-2 Torr
流量控制參數(shù)
泄露率 <4×10-9 atm-cc/secHe
分辨率 全量程的0.1%
響應(yīng)時(shí)間氣特性 <2 s
響應(yīng)時(shí)間電特性 500 ms
尾氣吸收參數(shù)
材質(zhì) 殼體鋁合金、不銹鋼
吸氣腔 聚四氟乙烯
等離子體系統(tǒng)參數(shù)
功率輸出 5 – 300,5 – 500 W
信號(hào)頻率 13.56 ±0.005% MHz
反射功率 200 W
功率穩(wěn)定度 ±0.1%
諧波分量 ≤-50 dbc
供電電壓 187V – 253V —- 頻率50/60HZ

以上就是東莞市卓聚科技有限公司提供的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)的介紹,

詳細(xì)情況歡迎您咨詢(xún)我們,客服電話(huà):400-966-2800

 

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等離子體修飾系統(tǒng) http://www.luoguofu.cn/products/detail/733.html Thu, 28 May 2020 07:51:32 +0000 http://www.luoguofu.cn/products/detail/733.html 等離子體修飾系統(tǒng),利用三溫區(qū)管式爐,通過(guò)氧氣輔助化學(xué)氣相沉積技術(shù),在藍(lán)寶石襯底上外延生長(zhǎng)了大尺寸、高質(zhì)量的單層二硫化鉬薄膜。在生長(zhǎng)過(guò)程中引入氧氣,不僅能夠有效的阻止三氧化鉬源中毒,降低形核密度,而且還能減小硫空位密度,從而實(shí)現(xiàn)了大尺寸單晶單層二硫化鉬的生長(zhǎng)。

利用等離子體修飾系統(tǒng),在自限生長(zhǎng)的前提下,目前已實(shí)現(xiàn)了兩英寸晶圓級(jí)高質(zhì)量單層二硫化鉬的外延生長(zhǎng),并通過(guò)改進(jìn)轉(zhuǎn)移設(shè)備,實(shí)現(xiàn)了晶圓級(jí)薄膜的零污染且襯底無(wú)損轉(zhuǎn)移。單層二硫化鉬薄膜均勻覆蓋在整個(gè)藍(lán)寶石襯底上,而且沒(méi)有縫隙,沒(méi)有重疊層。 薄膜由晶粒尺寸為 1 微米,相對(duì)取向?yàn)?60 o的晶粒拼接而成。成型薄膜只包含 60 o晶界。

等離子體修飾系統(tǒng)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. 有效避免固態(tài)源中毒;

2.成膜均勻性好;

3.成膜面積大;

4.快速、生長(zhǎng)速度可控。

等離子體修飾系統(tǒng)

圖:兩英寸單層二硫化鉬的取向外延生長(zhǎng)

以上就是東莞市卓聚科技有限公司提供的等離子體修飾系統(tǒng)的介紹,

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